微纳加工与测试公共创新平台瞄准光电子技术发展前沿技术水准与产业发展趋势,植根于南通地区,为国内研发用户提供较完整的光电子器件加工与测试服务。

平台规划有半导体级百、千、万级洁净室(百级黄光区400 ㎡),大型设备60余台套,满足材料生长、微纳加工、材料表征与元件测试以及器件封装等主流应用需求。具备8寸兼容180 nm工艺节点CMOS工艺器件批量加工及原位性能测试能力,可为用户提供定制化加工技术服务。